焦平面阵列 (FPA)

所谓的焦平面阵列(FPA)是一种特殊类型的辐射计,被用作红外摄像机的热检测器。 FPA的基础是一系列的小型薄膜辐射计,在探测器的焦平面上以矩阵形式排列。 这导致了平面像素传感器的出现,使各种应用的性价比得到提高。

氧化钒(VOX)和非晶硅替代技术被用来作为所需的薄膜测力计的材料。 目前典型的探测器尺寸为 160×120、320×240 和 640×480 像素。 过去的像素尺寸一般为35×35微米,而现在的像素尺寸可以达到25×25微米、17×17微米甚至12×12微米。 除其他外,由此产生的探测器表面尺寸的减少也导致了更小和更低成本的光学系统。

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